【摘要】：溅射离子泵也称为潘宁泵或钛泵。钛泵一般有图2-12-4所示的二极钛泵和三极钛泵两种基本结构形式，主要是由阳极、阴极、磁场和电源四大部分组成。溅射离子泵就是在稳恒电场与稳恒磁场的共同作用下，通过阴极钛板的吸附作用而达到除气目的。
溅射离子泵也称为潘宁泵或钛泵。钛泵一般有图2-12-4所示的二极钛泵和三极钛泵两种基本结构形式，主要是由阳极、阴极、磁场和电源四大部分组成（图2-12-4）。图2-12-4中所示的阳极处于整套泵体的中心位置；其两面隔开一定距离分别安装了两片阴极板；阴极板的外面是永久磁铁，磁场方向与阴极板垂直。一般情况下，阴极和阳极一起密封在不锈钢外壳内，通过绝缘端子外接高压电源；在泵体的外壳上有法兰接口，可通过密封圈与加速管紧密连接。永久磁铁与泵体之间相对独立，可分别安装，相互位置可做适当调节。
图2-12-4 溅射离子泵结构
A．二极钛泵；B．三极钛泵
不论二极结构还是三极结构，溅射离子泵的阳极一般是由许多直径为12～40mm、壁厚为0．1～0．3mm的不锈钢材质的薄壁圆筒排列构成的一个个“阳极筒”；阴极是由金属钛制成的片状金属板；阳极与阴极之间留出一定的间隙。工作时，要在阳极和阴极之间加上数千伏直流高电压（一般是3～7kV），这样，就会在阳极两边的间隙内建立起直流高压电场；同时，永久磁铁会在两片阴极之间形成平行于阳极圆筒群轴向的稳恒磁场。溅射离子泵就是在稳恒电场与稳恒磁场的共同作用下，通过阴极钛板的吸附作用而达到除气目的。
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