【摘要】：差动式电容差压传感器广泛应用于液体、气体的压力，液体位置及密度等的检测，其结构如图5－14所示，它实质上是一个由金属膜片与镀金凹形玻璃圆盘组成的采用差动电容原理工作的位移传感器。这种传感器的分辨力很高，采用适当的测量电路，可以测量较小的压力差，响应速度可达数十毫秒。
差动式电容差压传感器广泛应用于液体、气体的压力，液体位置及密度等的检测，其结构如图5－14所示，它实质上是一个由金属膜片与镀金凹形玻璃圆盘组成的采用差动电容原理工作的位移传感器。当被测压力p1及p2通过过滤器进入空腔时，由于弹性膜片两侧压力差，使膜片凸向压力小的一侧，这一位移改变了两个镀金玻璃圆片与弹性膜片之间的电容量，而电容的变化可由电路加以放大后取出。这种传感器的分辨力很高，采用适当的测量电路，可以测量较小的压力差，响应速度可达数十毫秒。若测量含有杂质的液体，还需在两个进气孔前设置波纹隔离膜片，并在两侧空腔中充满导压硅油，使得弹性平膜片感受到的压力之差仍等于p 1－p 2。
图5－14 差动式电容差压传感器
1—弹性平膜片 （动极）；2—凹玻璃圆片；3—金属镀层（定极）；4—低压侧进气孔；5—输出端子；6—空腔；7—过滤器；8—壳体；9—高压侧进气孔
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