【摘要】：图5－16所示为空气阻尼的电容式加速度传感器。该传感器采用差动式结构，有两个固定电极，两极板之间有一个用弹簧片支撑的质量块，此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为可动极板。该传感器频率响应快，量程范围大，在结构上大多采用空气或其他气体作阻尼物质。此外，该传感器还可做得很小，并与测量电路一起封装在一个厚膜集成电路的壳体中。
图5－16所示为空气阻尼的电容式加速度传感器。该传感器采用差动式结构，有两个固定电极，两极板之间有一个用弹簧片支撑的质量块，此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为可动极板。当传感器用于测量垂直方向的微小振动时，由于质量块的惯性作用，使两固定极板相对质量块产生位移，此时，上下两个固定电极与质量块端面之间的电容量产生变化而使传感器有一个差动的电容变化量输出，其值与被测加速度的大小成正比。该传感器频率响应快，量程范围大，在结构上大多采用空气或其他气体作阻尼物质。此外，该传感器还可做得很小，并与测量电路一起封装在一个厚膜集成电路的壳体中。
图5－16 空气阻尼的电容式加速度传感器
1—绝缘体；2—固定电极；3—质量块；4—弹簧片
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