【摘要】：三坐标测量仪由机械部分、计算机和三坐标测量仪系统软件部分、测量系统、测量头（探头）及附件构成。其中测量系统对三坐标测量仪的测量精度、成本影响较大。由于光栅精度高，信号容易细分，因此，现代三坐标测量仪，特别是计量型测量仪，更多采用这种测量系统，使用中需保持清洁的工作环境。最常见的是感应同步器测量系统和磁尺测量系统。
三坐标测量仪的种类较多，性能各异，但其构成框图大多如图15－7所示。
图15－7 三坐标测量仪构成框图
三坐标测量仪由机械部分、计算机和三坐标测量仪系统软件部分、测量系统、测量头（探头）及附件构成。其中测量系统对三坐标测量仪的测量精度、成本影响较大。测量系统种类很多，按其性质可分为机械式测量系统、光学式测量系统和电学式测量系统。
1.机械式测量系统
机械式测量系统在现代坐标测量仪上应用已经很少。
2.光学式测量系统
最常见的是光栅测量系统，它是利用莫尔条纹原理检测坐标的移动量。由于光栅精度高，信号容易细分，因此，现代三坐标测量仪，特别是计量型测量仪，更多采用这种测量系统，使用中需保持清洁的工作环境。除光栅测量系统外，其他光学式测量系统还有光学读数刻线尺、光电显微镜、光学编码器和激光干涉仪等。
3.电学式测量系统
最常见的是感应同步器测量系统和磁尺测量系统。感应同步器的特点是成本低，对环境的适应性强，不怕灰尘和油污，精度在1m内，通常可达10μm，常用于生产型三坐标测量仪。磁尺也有容易制造、成本低、易安装等优点，其精度略低于感应同步器，在600mm内约为±10μm，在中、高精度三坐标测量仪上应用较少。
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