【摘要】：电容式传感器可广泛用于位移、振动、角度、加速度、荷重等机械量的精密测量，也广泛用于压力、液压、料位、成分含量等热工参数测量。电容式传感器的相对变化量只受线性和其他实际条件的限制，如用于线性度较高的电路，电容变化量可达100%或更大，具有较高的信噪比。电容式传感器需要的作用能量极小，并有较小的可动质量，因而有较高的固有频率。
4．2．2 特点和选用
电容式传感器可广泛用于位移、振动、角度、加速度、荷重等机械量的精密测量，也广泛用于压力、液压、料位、成分含量等热工参数测量。它有如下特点：
（1）需要的动作能量或力极小。由于带电极板间的静电吸引力很小（10－5 N级），因此，只要极小的输入能量（或力）就能使动极板移动。在移动过程中，没有摩擦和几乎没有反作用力，特别适宜用来解决输入能量低的条件下的测量问题。
（2）可获得较大的相对变化量。电容式传感器的相对变化量只受线性和其他实际条件的限制，如用于线性度较高的电路，电容变化量可达100%或更大，具有较高的信噪比。
（3）有良好的动态响应特性。电容式传感器需要的作用能量极小，并有较小的可动质量，因而有较高的固有频率。能在几兆赫的频率下工作，有良好的动态响应能力。
（4）灵敏度高，分辨力强。能感受或分辨0．01μm甚至更小的位移。
（5）零点漂移很小。电容式传感器若以真空、空气或其他气体作为绝缘介质时，介质损失非常小，其他损耗也非常小，因此本身几乎不存在发热问题，故不存在由传感器本身发热而引起的零点漂移。
（6）能实现无接触测量。
（7）受辐射、腐蚀影响小，因此适用于一些特殊场合。
因此，电容式器传感器可以应用于一些对位移作精密测量的场合。例如：
（1）测量高频振动的微小位移，电容式测振仪可测至0．01μm量级的振动位移。
（2）对液体特别是腐蚀性液体作液位测量。
（3）对可以转变为位移的量作间接测量，如压力、应力等，特别是用于某些机械结构上测量加速度，优点更为突出。
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