【摘要】：电子束加工原理如图7.7所示。由电子枪射出的高速运动的电子束经电磁透镜聚焦后轰击工件表面，在轰击处形成局部高温，使材料瞬时熔化、气化，再被喷射去除。偏转器也是一个多匝线圈，当通以不同的交变电流时，产生不同的磁场，可迫使电子束按照加工的需要作相应的偏转。利用电子束可加工特硬、难熔的金属与非金属，能加工出小到几微米的孔，且加工在真空中进行，能防止被加工零件氧化。
7.7 电子束加工
电子束加工原理如图7.7所示。由电子枪射出的高速运动的电子束经电磁透镜聚焦后轰击工件表面，在轰击处形成局部高温，使材料瞬时熔化、气化，再被喷射去除。电磁透镜实质上只是一个通以直流电的多匝线圈，其作用与光学玻璃透镜相似，当线圈通过电流后形成磁场，利用磁场力的作用使电子束聚焦。偏转器也是一个多匝线圈，当通以不同的交变电流时，产生不同的磁场，可迫使电子束按照加工的需要作相应的偏转。
图7.7 电子束加工原理
利用电子束可加工特硬、难熔的金属与非金属，能加工出小到几微米的孔，且加工在真空中进行，能防止被加工零件氧化。但由于需要高真空和高电压的条件，并需防止X射线逸出，故设备较复杂，目前多用于微细加工和焊接等方面。
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