【摘要】：药液喷淋压力的变化会引起药液扩散的速度发生变化，从而影响化学反应速度。这样对刻蚀速率及均一性、刻蚀姆拉、刻蚀均一性都会产生影响。如喷淋压力越大，刻蚀液流动越快，则刻蚀速率也就越高。喷淋压力大小也决定了喷淋的形状，压力越小，喷淋喷出刻蚀液的锥体顶角越小，喷出药液不能覆盖到基板各处，使各处刻蚀率不均，最后导致刻蚀姆拉和边刻蚀量均一性变差。
8.5.3 药液喷淋压力
药液喷淋压力的变化会引起药液扩散的速度发生变化，从而影响化学反应速度。这样对刻蚀速率及均一性、刻蚀姆拉、刻蚀均一性都会产生影响。如喷淋压力越大，刻蚀液流动越快，则刻蚀速率也就越高。
喷淋压力大小也决定了喷淋的形状，压力越小，喷淋喷出刻蚀液的锥体顶角越小，喷出药液不能覆盖到基板各处，使各处刻蚀率不均，最后导致刻蚀姆拉和边刻蚀量均一性变差。反之，压力越大，锥体顶角越大，喷出的药液可以覆盖到基板各处，提高了边刻蚀量的均匀性，抑制刻蚀姆拉的产生。但喷淋压力也不要过大，在保证工艺要求和足够的刻蚀余量的情况下，还应注意降低生产成本的问题。
图8.29所示为铬湿刻中药液喷淋压力与刻蚀速率的关系，随着喷淋压力的增大，平均刻蚀速率也随之增加，但增加量比较小。
图8.29 药液喷淋压力与刻蚀速率的关系
图8.30所示为喷淋压力与边刻蚀量的关系。在不同压力下，边刻蚀量的标准偏差都小于0.1，其中在压力为0.55kgf·cm-2时，偏差值为最小，为0.024。而边刻蚀量平均值的总体趋势是随压力值的增大而略微增大。由于在0.55kgf·cm-2时有最小的偏差值，能充分保证刻蚀的均匀性，又能保证有足够的刻蚀余量，同时本着节省药液的思想，因此它是一个合理的选择。
图8.30 喷淋压力与边刻蚀量的关系
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