日常点检与灰尘检查

9.4.2　日常点检与灰尘检查

1.日常点检

表9.9规定了工艺条件Recipe的点检，表中指定的项目在触摸屏通过软件确认，如果规定的条件不能满足，就不能投入产品，应与技术部门联络，获得技术支持。工艺条件Recipe的点检频度为每天一次，如果设备因故障停机，恢复运行后也要作工艺条件Recipe的点检。

2.灰尘检查

灰尘检查每天都要进行，如果停电等突发事件引起装置突然停止后，或者在工作舱清扫以及其他情况导致工作舱打开后，重新投入量产前都必须进行灰尘检查，否则设备不能投入运行。

灰尘检查的管理规格是小颗粒（S）3～5um的灰尘少于800个，中等颗粒（M）5～10um和10um以上的大颗粒（L）的总和少于300个。

灰尘检查的方法：首先建立用于灰尘检查的实验Lot玻璃基板，这种实验基板最多只能循环使用30次。将专用Lot的基板移入空的载物箱进行Lot分割，如果是3个工作舱，抽出3片基板放到空载物箱的第18、第19、第20槽；如果是4个工作舱，抽出4片基板放到空载物箱的第17、第18、第19、第20槽。Lot分割后自动产生子Lot号，再将其品名更改为子Lot的品名。

表9.9　工艺条件Recipe点检

解除子Lot的停止，进行Online作业。具体流程如图9.18所示，取出3片玻璃基板做成膜前洗净，检查灰尘数量，按照灰尘检查Recipe进行光刻，再一次检测灰尘数量。检查完毕，子Lot处于具有存储功能传送通道（Bay）保留停止状态，第二日重新进行检查时，先解除Bay保留停止，然后开始相关检查作业。这样反复循环使用，一直到灰尘检查合格为止。

图9.18　颗粒检测流程

对灰尘检查采集到的数据进行必要的处理，用刻蚀处理后灰尘数减去刻蚀处理前的灰尘数得到灰尘数量的增量。灰尘增加量为负值时，认为增加量为0。

刻蚀处理前灰尘数S＋M＋L＞300时则换用其他基板进行点检（或者再次进行洗净）。记录S，M＋L以及总的增加量值。

如果测量结果不合格，则设备不能投入生产，调整后再重新进行灰尘检测。如果重新测定结果仍然不合格，应联系值班技术人员，查看该设备维护日志，确定是否需要做清扫。

为了便于对量产设备进行实时监控和查看随时间推移变化趋势，每次灰尘检所有数据无论合格还是不合格都必须输入系统管理的计算机。