【摘要】：光刻胶剥离是通过剥离液和光刻胶的化学反应，使光刻胶膨胀、软化并溶解。MEA的作用是浸透光刻胶/膜的界面，使光刻胶脱离并溶解。生产线使用的剥离液各家公司都有自己的配方，配方组成的原则主要根据采用的光刻胶的性质来决定，要求与图形膜不能发生化学反应，剥离时间要尽可能的短，剥离不能有残留，价格要低。表10.1所示是TFT光刻胶剥离液的参考数据。
10.1 光刻胶剥离原理与材料
光刻胶剥离是通过剥离液和光刻胶的化学反应，使光刻胶膨胀、软化并溶解。一般的剥离液由（CH3）2SO（dimethyl sulfoxide，DMSO）和OH（CH2）2NH2（monoethanolamin，MEA）按7∶3的重量比组成，是无色透明，有刺激性气味的液体。DMSO在反应中起到反应溶剂、反应试剂的双重作用，使某些不能实现的反应在DMSO中能顺利进行，对某些化学反应具有加速、催化作用，提高收率，改革产品性能，在这里的作用是使光刻胶膨润。MEA的作用是浸透光刻胶/膜的界面，使光刻胶脱离并溶解。
生产线使用的剥离液各家公司都有自己的配方，配方组成的原则主要根据采用的光刻胶的性质来决定，要求与图形膜不能发生化学反应，剥离时间要尽可能的短，剥离不能有残留，价格要低。
表10.1所示是TFT光刻胶剥离液的参考数据。包装一般采用大型不锈钢容器（罐）。产品交付时容器必须附有标签，标明品名、编号、批号、生产日期、有效日期、储藏条件、厂家，同时要提供产品检验单。检验单须包括以下内容：
表10.1 TFT光刻胶剥离液的参考数据
（1）品名；
（2）批次号码；
（3）药品成分（化学式，化学名称）；
（4）水分；
（5）金属离子（Na，K，Mg，Ca，Al，Si，Sn，Fe，Cu，Mn）；
（6）颗粒数；
（7）厂家名及检查责任者印签；
（8）制造及其检查年日期；
（9）有效日期；
（10）储存条件。
产品交付使用时还要有保证期间，即在-10～30℃的保证温度内，从生产的日期起为12个月。因此，产品必须在生产日期后2个月以内交货。
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