【摘要】：电子探针显微分析是用高能电子束轰击样品时，在一个微米级(μm)范围的微区体积内激发产生特征X射线，根据特征X射线的波长或者能量来鉴别样品中各种元素，根据不同元素的特征X射线的产额强度与标准样品对比计算出各种元素的浓度。对微粒矿物和细小包裹体的鉴定，研究矿物内部的化学均匀性和元素的地球化学特性，具有重要作用。
11.1.5 电子探针显微分析
电子探针显微分析是用高能电子束轰击样品时，在一个微米级(μm)范围的微区体积内激发产生特征X射线，根据特征X射线的波长或者能量来鉴别样品中各种元素，根据不同元素的特征X射线的产额强度与标准样品对比计算出各种元素的浓度。
主要用途:用于地质、冶金、电子、建材、环境科学、半导体及材料科学等样品，可做固体样品的微区定性和定量分析，X射线线面扫描及背散射与二次电子图像等分析，包括:
①元素定性和定量分析，可做矿物鉴定;
②样品微区的表面形态、化学成分和微结构的分析;
③状态分析，确定元素的赋存状态。
其优点是:测定元素多(原子序数4以上的元素)，精密度好，绝对检出限达10－15克;还适用于几微米厚的薄层分析和厚度为几个单分子层的超薄膜分析。对微粒矿物和细小包裹体的鉴定，研究矿物内部的化学均匀性和元素的地球化学特性，具有重要作用。
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