【摘要】:图5.9中结构和结构都是单腔双振子压电泵。这种结构设计的缺点是过长的流体通道导致泵腔体的初始容积太大,流动阻力加大,振子和阀之间工作时的相位差也相对较大,输出性能不理想。结构在设计中将两个压电振子在位置上相互错开,进口阀和出口阀分别设计在两个压电振子所在的腔内,并通过一个通道将两个振子所在的腔连接起来,这在工作原理上也是单腔体双振子结构。
图5.9中(a)结构和(b)结构都是单腔双振子压电泵。在早期的设计中,(a)结构是最初被采用的结构形式,在这种结构中,进口阀和出口阀分别被安装在泵腔之外。在工作的时候,流体从进口处流进后,通过进口流道分别进入两个压电振子所在的腔内,然后再经过出口流道,从出口阀处流出。这种结构设计的缺点是过长的流体通道导致泵腔体的初始容积太大,流动阻力加大,振子和阀之间工作时的相位差也相对较大,输出性能不理想。
(b)结构在设计中将两个压电振子在位置上相互错开,进口阀和出口阀分别设计在两个压电振子所在的腔内,并通过一个通道将两个振子所在的腔连接起来,这在工作原理上也是单腔体双振子结构。这种结构的优点是可以根据工作条件合理改变腔体的初始容积,泵腔内流道较短,流动阻力小,振子和阀之间工作时的相位差也相对较小,工作性能理想。
图5.9 单腔双振子压电泵结构简图
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