【摘要】：所做清洗用的化学品为C2H2Cl3，熟称TCA，初次扩散前，扩散炉石英管首先连接TCA装置，当炉温升至设定温度，以设定流量通TCA60分钟清洗石英管。打开小N2，以设定流量通小N2（携源）进行扩散。扩散结束后，关闭小N2和O2，将石英舟缓缓退至炉口，降温以后，用舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，进行下一轮扩散。如没有待扩散的硅片，将臂浆推入扩散炉，尽量缩短臂桨暴露在空气中的时间。
扩散制结工艺流程如图7－12所示。
1．清洗
所做清洗用的化学品为C2H2Cl3，熟称TCA，初次扩散前，扩散炉石英管首先连接TCA装置，当炉温升至设定温度，以设定流量通TCA60分钟清洗石英管。清洗开始时，先开O2，再开TCA；清洗结束后，先关TCA，再关O2。清洗结束后，将石英管连接扩散源瓶，待扩散。
2．饱和
每班生产前，需对石英管进行饱和。炉温升至设定温度时，以设定流量通小N2（携源）和O2，使石英管饱和20分钟后，关闭小N2和O2。初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产时，需使石英管在950℃通源饱和1小时以上。
图7－12 扩散制结工艺流程图
3．装片
戴好防护口罩和干净的塑料手套，将清洗甩干的硅片从传递窗口取出，放在洁净台上。用吸笔依次将硅片从硅片盒中取出，插入石英舟。
4．送片
用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂浆上，保证平稳，缓缓推入扩散炉。
5．回温
打开O2，等待石英管升温至设定温度。
6．扩散
打开小N2，以设定流量通小N2（携源）进行扩散。三氯氧磷（POCl3）液态源扩散POCl3是无色透明的液体具有强烈的刺激性气味，承装在玻璃瓶中。
7．关源，退舟
扩散结束后，关闭小N2和O2，将石英舟缓缓退至炉口，降温以后，用舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，进行下一轮扩散。如没有待扩散的硅片，将臂浆推入扩散炉，尽量缩短臂桨暴露在空气中的时间。
8．卸片
等待硅片冷却后，将硅片从石英舟上卸下并放置在硅片盒中，放入传递窗。
9．方块电阻测量
利用四探针测试法对扩散制结后的硅片进行方块电阻的测量。
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