【摘要】：在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规律仍然起作用。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。由于MEMS的操作范围在微米范围内，MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等优点。
MEMS是一个典型的多学科交叉的前沿性研究领域，其研究内容通常可分为以下三个方面。
1.MEMS的理论基础
在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规律仍然起作用。但由于尺寸缩小带来的影响 （Scaling Effects），许多物理现象与宏观世界有很大区别。许多原来的理论基础都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等。因此，有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学进行深入的研究。这一方面的研究虽然受到重视，但难度较大，往往需要多学科的学者进行基础研究。
2.MEMS的技术基础
MEMS的技术基础可以分为以下几个方面：
（1）设计与仿真技术。
（2）材料与加工技术。
（3）封装与装配技术。
（4）测量与测试技术。
（5）集成与系统技术等。
3.MEMS的应用研究
人们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS技术与航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等应用领域相结合，制作出符合各领域要求的微传感器、微执行器、微结构等MEMS器件与系统。
MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。由于MEMS的操作范围在微米范围内，MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等优点。因此，在航空航天、汽车、生物医学、环境监测、军事以及几乎人们能接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。
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